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    半导体超纯水设备

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    半导体超纯水设备

    • 所属分类:摩尔工程水处理设备

    • 点击次数:
    • 发布日期:2019/07/08
    • 在线询价
    详细介绍

    图片4.png

    一、技术要求

    产水压力:0.4MPa

    产水水质:按ASTM D5127-2013 E-1.1级的水质标准

                               产水水质标准

    序号

    名  称

    单  位

    数据

    备注

    1

    电阻率(25℃

    MΩ.CM

    182


    2

    TOC

    μg/L

    2


    3

    溶解氧

    μg/L

    10


    4

    蒸发残渣

    μg/L

    0.5


    5

    在线颗粒/升(微米)




    6

    0.050.1

    1000

    在线监测

    7

    0.10.2

    350

    在线监测

    8

    0.20.5

    100

    在线监测

    9

    0.51.0

    50

    在线监测

    10

    1.0

    20

    在线监测

    11

    SEM颗粒检测/升(微米)




    12

    0.10.2

    700


    13

    0.20.5

    400


    14

    0.51.0

    50


    15

    10

    30


    16

    细菌/100mL




    17

    100mL取样

    3


    18

    总硅

    μg/L

    3


    19

    溶解硅

    μg/L

    1


     

    运行要求:年连续运转8000小时

    管阀材质:采用进口PVDF超纯型管道阀门,热熔对焊。

     

    二、产品先进性分析

     

    设备回收率:EDI装置回收率≥90%EDI浓水全部回流至厂区除盐水系统原水箱。

    设备控制:采用PLC+上位机全自动运行方式,同时可手动运行,系统带自检功能,声光报警。系统运行参数可存储,可打印。正常运行为自动,检修为手动,可实现无人值守。系统运行实况可于在线流程模拟屏上实时显示,如水箱液位的具体高度,增压泵出口压力,产水流量,EDI产水电阻率,产水流量,抛光混床产水电阻率、产水流量以及终端产水电阻率、在线监测微粒数等参数。

    供水方式:超纯水系统供水采用不间断循环供水方式,回路设计背压阀保持循环量。

    相关标签:摩尔工程水处理设备,半导体超纯水设备价格,半导体超纯水设备批发

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